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在自主设计的定向凝固设备中进行，熔炼、浇注与定向凝固均在真空环境中进行，由真空系统、熔炼系统和定向凝固系统组成。真空系统由机械泵和扩散泵两级系统组成，熔炼装置采用电磁感应熔化，定向凝固采用水冷铜底座实现。主机部分：机架，双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\氩气系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2，加热器电源：全水冷电源装置采用电源或原装进口IGBT及超快恢复二极管等率器件。配以高频变压器，构成新一代高频关电源。采用移相全桥软关（ZVS）及CPU控制技术。加热电源和计算机控制系统三大部分组成。1单晶硅生长炉原理简介单晶硅生长炉的特点\单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的设备。主要由主机提高了电能转换效率。一般为75～300mm，这个过程称为放肩，接着，突然提高拉速进行转肩作，使肩部近似直角，然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体，后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。